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FMSR-D系列高性能直驅(qū)旋轉(zhuǎn)臺(tái)：隨著直驅(qū)技術(shù)不斷進(jìn)步,直驅(qū)電機(jī)憑借高轉(zhuǎn)速,高精度,高承載等特點(diǎn)逐漸取代了科研和工業(yè)上大量應(yīng)用的“電機(jī)+蝸輪蝸桿”結(jié)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)。我們推出的FMSR-D系列直驅(qū)旋轉(zhuǎn)臺(tái),涵蓋了有鐵芯電機(jī)、無鐵芯電機(jī)、絕對(duì)式光柵尺、增量式光柵尺等技術(shù),以其高一個(gè)數(shù)量級(jí)的精度、速度以及更美觀的外形設(shè)計(jì)取代了傳統(tǒng)蝸輪蝸桿結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)臺(tái)。

FMS80V系列真空步進(jìn)電機(jī)高精度通用平移臺(tái)：在FMS80基礎(chǔ)上，我們?cè)O(shè)計(jì)了FMS80V系列真空專?位移臺(tái)。FMS80V廣泛適用于真空環(huán)境的應(yīng)?中，在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7 ~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運(yùn)行。

FMS120V系列真空步進(jìn)電機(jī)高精度通用平移臺(tái)：在FMS120系列基礎(chǔ)上，我們?cè)O(shè)計(jì)了FMS120V系列真空專用位移臺(tái)。FMS120V廣泛適用于真空環(huán)境的應(yīng)用中，在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運(yùn)行。

FMS80VR真空步進(jìn)電機(jī)高精度整體臺(tái)面平移臺(tái)：在FMS80R系列基礎(chǔ)上，我們?cè)O(shè)計(jì)了FMS80VR系列真空專用位移臺(tái)。FMS80VR廣泛適用于真空環(huán)境的應(yīng)用中，在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運(yùn)?。

FMSZ真空步進(jìn)電機(jī)升降臺(tái)：我們開發(fā)的FMSZ系列真空步進(jìn)電機(jī)升降臺(tái)。經(jīng)過特殊設(shè)計(jì)，方便與我們的其余產(chǎn)品搭建成多維位移臺(tái)。承載高，并可定制其它行程。搭配FMC01系列控制器。

FMSXXY170Z-200-200直線電機(jī)龍門雙驅(qū)平臺(tái)：我們研發(fā)的?理石龍門雙驅(qū)位移臺(tái)，雙向重復(fù)定位精度可達(dá)亞微米級(jí)。行程、精度、承載均可定制。采用雙驅(qū)結(jié)構(gòu)，同步性更好、承載更高。Y軸可掛載Z軸。結(jié)合CCD等器件，可做成套設(shè)備交付客戶使用。

FMSXY系列步進(jìn)電機(jī)二維掃描臺(tái)：我們研發(fā)的?體化步進(jìn)二維位移臺(tái)?？刂破骺蓛?nèi)置。雙向重復(fù)定位精度和微步能力*。結(jié)構(gòu)小巧，易于配套集成?？膳錁?biāo)準(zhǔn)FMC01系列控制器應(yīng)用，也提供SDK給客戶做?次開發(fā)。

FMSXY系列直線電機(jī)中空二維掃描平臺(tái)：我們開發(fā)的此款?維掃描位移臺(tái)，采用了直驅(qū)技術(shù)，速度快，精度高，承載?。非常適合于需要?維運(yùn)動(dòng)的設(shè)備和應(yīng)?。配合菲克科技的高性能控制器能實(shí)現(xiàn)：位置記憶，位置觸發(fā)，任意平?圖形導(dǎo)?。適合與顯微鏡?起使?，同時(shí)提供配套附件，可用于市?上?多數(shù)顯微鏡。